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对标国际一线品牌的半导体前道量检测设备
Surface Scan 系列产品
SurfaceScan系列是针对半导体1Xnm以上工艺节点IC器件、硅片、设备、 材料生产制造和设备监控使用的无图形晶圆表面缺陷检测设备。
成熟工艺Surface Scan 3000
面向2X nm工艺节点的高性价比解决方案
Technology Node2X nm
LS Sensitivity26 nm
Throughput100 WPH
Laser Wavelength266 nm
Sensor TypePMT
DIC ModeYES
主流工艺Surface Scan 5000
面向14nm工艺节点的高吞吐量检测方案
Technology Node14 nm
LS Sensitivity19 nm
Throughput84 WPH
Laser Wavelength266 nm
Sensor TypePMT
DIC ModeYES
先进工艺Surface Scan 7000
面向7nm及以下工艺节点的高精度检测方案
Technology Node7 nm
LS Sensitivity15 nm
Throughput70 WPH
Laser Wavelength266 nm
Sensor TypePMT
DIC ModeYES
Surface Scan 全系列参数对比
| 产品型号 | 工艺节点 | 灵敏度 | 吞吐量 | 激光波长 | 传感器类型 | DIC模式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SS-3000 | 2X nm | 26 nm | 100 WPH | 266 nm | PMT | Yes |
| SS-5000 | 14 nm | 19 nm | 84 WPH | 266 nm | PMT | Yes |
| SS-7000 | 7 nm | 15 nm | 70 WPH | 266 nm | PMT | Yes |
量产产品Lattice 1000 机台
微区应力测试设备，面向逻辑芯片先进工艺7nm、5nm制程及多材料堆叠存储芯片结构
•快速无损测试硅片，in-die或device中的应力、组分、结晶相结构等特征
•UV~IR多波长激光器，满足Si、Ge、GaN、Dielectrics等多种材料体系需求
•AI-ML智能算法，快速精准判断特征峰信息并智能给出工艺优化建议
在研产品DF-INS 图形晶圆暗场检测设备
采用先进光学系统和高功率紫外激光光源，基于AI-ML智能算法快速精准判断特征峰信息
•高灵敏度：紫外激光光源、傅立叶滤波光学系统、灵活偏振配置
•高Throughput：多种Spot Size、亚纳米高速气浮Stage、高Data Rate
•智能化：AI-Deep Learning、智能分类、支持Design Care Area
更多产品
XS-9000 高性能处理器
型号：XS-9000
面向数据中心的旗舰级高性能处理器，16核心32线程设计
XS-AI200 推理加速卡
型号：XS-AI200
专为AI推理优化设计的加速卡，支持主流深度学习框架
XS-E300 嵌入式处理器
型号：XS-E300
低功耗高性能嵌入式处理器，适用于物联网网关和智能终端
产品布局
在充分市场调研的基础上围绕自有核心技术，逐渐从跟随借鉴、微创新、创新三方面顺序发展光学产品线
Surface Scan系列产品
无图形晶圆表面量检测设备
有图形暗场检测设备
图形晶圆暗场检测
Lattice系列产品
微区应力测试设备
三代半缺陷检测设备
第三代半导体缺陷检测