2023
公司成立
1800m²
研发生产基地(m²)
7nm及以上
覆盖工艺节点
5+
头部客户验证
产品中心
围绕自有核心技术，逐渐从跟随借鉴、微创新、创新三方面顺序发展光学产品线
已量产
Surface Scan 系列
无图形晶圆表面量检测设备
针对半导体1Xnm以上工艺节点IC器件、硅片、设备材料生产制造和设备监控使用的无图形晶圆表面缺陷检测设备
SS-2000SS-3000SS-5000
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已量产
Lattice 1000
微区应力测试设备
利用激光散射光谱测量硅片掺杂、应力、缺陷和表面成分等信息，为逻辑和存储芯片的N7、N5及以上先进制造工艺提供LAB材料分析和FAB在线检测服务
Lattice 1000
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在研
DF-INS
图形晶圆暗场检测设备
采用先进光学系统和高功率紫外激光光源，基于AI-ML智能算法，实现ETCH、Litho、Thin Film、CMP、Implant等多应用场景下缺陷精准判断
DF-INS
查看详情 →融合办公、研发与生产于一体
总部基地位于无锡经济开发区太湖湾信息技术产业园
约1800m²
研发&生产基地
750m²
千级无尘车间
100m²
百级超净实验室
150m²
激光光学实验室
900m²
办公&社交休闲场地
应用领域
广泛应用于Wafer House、IC、RF、SiC等领域
🔲
IC
集成电路
📡
RF
射频
💎
SiC
碳化硅
⚡
GaN
氮化镓
💡
Micro-LED
微显示
⭕
Wafer
晶圆
已获头部客户验证
通过国内一线客户验证并实现交付，订单储备充足
华为
中芯国际
福建晋华
北京燕东
广州芯粤能
期待与您合作
如需了解产品详情或申请样品测试，请联系我们